壓電旋轉臺 ║P450S是采用壓電陶瓷驅動的納米級精密定位壓電旋轉臺，壓電旋轉臺內部使用無回差柔性鉸鏈導向結構，采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電旋轉臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，確保了壓電旋轉臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。緊湊型設計，可更好的集成于各類精密旋轉定位應用中。壓電納米定位臺為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。
內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹，具有優異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障，可實現無故障運行1000億個循環。
零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。
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◆ 可提供各種運動行程、外形尺寸、通光孔徑版本； ◆ 結構緊湊，低外形，易于集成； ◆ 并聯運動設計可實現更高精度和動態性； ◆ 無摩擦柔性鉸鏈并聯導向可實現極高的運動精度； ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命； ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇。 |
● 掃描顯微鏡 ● 共聚焦顯微鏡 ● 掩模/晶圓定位 ● 表面測量技術 ● 納米壓印 ● 顯微操作 ● 圖像處理/穩定 ● 高運動平面度和直線度的納米定位 |
| 型號 | P450S | 單位 | 公差 | |
| 主動軸 | θz | - | - | |
| 運動和定位 | ||||
| 傳感器類型 | SGS | - | - | |
| 開環旋轉角度［-20V~+150V］ | 10 | mrad | ±20% | |
| 閉環旋轉角度［0V~+120V］ | 8 | mrad | ±20% | |
| 開環分辨率 | 0.1 | µrad | typ. | |
| 閉環分辨率 | 0.3 | µrad | typ. | |
| 閉環線性度 | 0.12 | %F.S. | typ. | |
| 重復定位精度 | 0.02 | %F.S. | typ. | |
| 機械特性 | ||||
| 空載諧振頻率 | 500 | Hz | ±20% | |
| 承載能力 | 10 | N | Max. | |
| 其他 | ||||
| 工作溫度 | -20～80 | ℃ | - | |
| 材質 | 鋁，鋼 | - | - | |
| 外形尺寸 | 60x60x20 | mm | - | |
| 通光孔徑 | - | mm | - | |
| 重量 | 0.3 | Kg | ±5% | |
| 線纜長度 | 1.5 | m | ±10mm | |
| 連接器類型 | LEMO│D-Sub9 | - | - | |
| 注：最大驅動電壓為-20V...+150V；長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。 | ||||
? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統，系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。
